以往研磨盤較多使用的是鑄鐵或碳鋼材料,其使用壽命短、熱膨脹系數(shù)大,在加工硅晶片過程中,特別是高速研磨或拋光時(shí),由于研磨盤的磨損和熱變形,使硅晶片的平面度和平行度難以保證。隨著黑碳化硅陶瓷耐磨材料的發(fā)展和和燒結(jié)工藝的開發(fā),鑄鐵和碳鋼研磨盤逐漸被碳化硅研磨盤所代替,其硬度高、磨損小的特性以及與與硅晶片基本相同的熱膨脹系數(shù),應(yīng)用在高速研磨拋光過程具有突出優(yōu)勢。
簡介:
黑碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料在電阻爐內(nèi)經(jīng)高溫冶煉而成,在電阻爐內(nèi)經(jīng)高溫冶煉而成,呈黑色不透明體,六角形結(jié)晶,莫氏硬度為9.15。僅次于金剛石和碳化硼,性能脆而鋒利并且有一定的導(dǎo)電性.
黑碳化硅物理性質(zhì)
屬性 Properties 規(guī)格Type |
粒度砂Grains |
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F8# 10# 12# 14# 16# 20# 24# 30# 36# 40# 46# 54# 60# 70# 80# 90# 100# 120# 150# 180# 220# |
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保證值 Guarantee Value |
典型值Typical Value |
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化學(xué)成分 Chemical Composition |
SIC |
≥98.5 |
98.81 |
F.C |
≤0.2 |
0.14 |
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Fe2O3 |
≤0.2 |
0.16 |
|
H2O3 |
≤1 |
0.3 |
黑碳化硅粒度砂生產(chǎn)流程
黑碳化硅包裝: