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碳化硅陶瓷件能用于半導體行業嗎?

作者:王青15890630517  發布時間:2024-08-23 10:32:29   人氣:

碳化硅陶瓷件能用于半導體行業嗎?

能!
半導體制造是現代科技發展的基石,隨著行業對更小、更快、更高效集成電路的不斷追求,制造過程的精確度和技術復雜性也在不斷增加,每一個步驟都離不開高性能、高質量和高精度半導體設備。碳化硅(SiC)作為一種性能優異的結構陶瓷材料,具備密度高、熱傳導率高、彎曲強度大、彈性模數大、抗腐蝕性強、耐高溫等特性,不易產生彎曲應力變形和熱應變,能夠適應晶圓外延、刻蝕等制造環節的強腐蝕性、超高溫的惡劣反應環境,因此在研磨拋光、外延/氧化/擴散等熱處理、光刻、沉積、刻蝕,離子注入等半導體制程中得到了廣泛應用。

 

黑碳化硅陶瓷制品
簡介:

黑碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料在電阻爐內經高溫冶煉而成,在電阻爐內經高溫冶煉而成,呈黑色不透明體,六角形結晶,莫氏硬度為9.15。僅次于金剛石和碳化硼,性能脆而鋒利并且有一定的導電性.

120目黑碳化硅陶瓷密封圈用磨料

 

黑碳化硅物理性質

莫氏硬度

9.15

熔點

2250℃

最高使用溫度

1900℃

真密度

3.2-3.4 g/cm3

顯微硬度

2840~3320kg/mm2

 

黑碳化硅粒度砂型號

    屬性 Properties

      規格Type

              粒度砂Grains

F8# 10# 12# 14# 16# 20# 24# 30# 36# 40# 46# 54# 60# 70# 80# 90# 100# 120# 150# 180# 220#

保證值 Guarantee Value

典型值Typical Value

 化學成分

Chemical

Composition

SIC

       ≥98.5

     98.81

F.C

       ≤0.2

     0.14

Fe2O3

       ≤0.2

     0.16

H2O3

       ≤1

     0.3

 

碳化硅粒度砂生產流程

120目黑碳化硅陶瓷密封圈用磨料
 

黑碳化硅包裝:

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